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白光干涉儀全域成像技術(shù)對(duì)超光滑樣品批量工藝異常的識(shí)別與分析

正文超光滑樣品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械拋光（Chemical Mechanical Polishing, CMP）晶圓、精密光學(xué)基底、微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-El...

白光干涉儀全域成像技術(shù)對(duì)超光滑樣品批量工藝異常的識(shí)別與分析

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基于光學(xué)輪廓測(cè)量的核電級(jí)閥門平面度熱輻照變形（Thermal...

核電級(jí)閥門（Nuclear-grade Valve）是核電系統(tǒng)流體調(diào)控、壓力隔離的核心承壓設(shè)備，其密封面平面度（Flatness）直接關(guān)乎核電機(jī)組運(yùn)行安全性與密封...

基于光學(xué)輪廓測(cè)量的核電級(jí)閥門平面度熱輻照變形（Thermal Irradiation Deformation）研究

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骨植入體表面粗糙度異常白光干涉儀提升骨整合效果

醫(yī)用骨植入體（Bone Implant）多采用鈦合金、陶瓷等生物材料，其表面粗糙度（Surface Roughness）是調(diào)控骨整合（Osseointegrati...

骨植入體表面粗糙度異常白光干涉儀提升骨整合效果

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超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）工藝畸變...

摘要超光滑樣品廣泛應(yīng)用于精密光學(xué)元件、半導(dǎo)體晶圓（Wafer）、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件、鈣鈦礦功能薄膜等高端制造領(lǐng)域。樣品在拋光、鍍膜、轉(zhuǎn)運(yùn)制程中，易產(chǎn)生全域...

超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）工藝畸變與微觀缺陷檢測(cè)：基于白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）高精度表征方法

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