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干法 / 濕法刻蝕后（After Dry/Wet Etchi...

摘要干法刻蝕（Dry Etching）、濕法刻蝕（Wet Etching）是半導(dǎo)體晶圓（Wafer）加工核心工藝，刻蝕工序會改變晶圓襯底微觀形貌，而晶圓表面粗糙度...

干法 / 濕法刻蝕后（After Dry/Wet Etching），采用白光干涉儀測量晶圓表面粗糙度

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骨植入體端面平面度形變白光干涉儀強化貼合穩(wěn)定性

骨植入體（Bone Implant）的端面平面度（End Face Flatness）是影響植入體與骨組織、配套假體貼合精度的關(guān)鍵形位指標(biāo)。在精密切削、拋光、熱處...

骨植入體端面平面度形變白光干涉儀強化貼合穩(wěn)定性

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盤片熱處理形變導(dǎo)致平面度超標(biāo)（Flatness Overli...

機械硬盤（Hard Disk Drive, HDD）超薄精密金屬盤片的熱處理（Heat Treatment）工序，用于釋放基材殘余應(yīng)力、穩(wěn)定盤面形貌精度，是硬盤精...

盤片熱處理形變導(dǎo)致平面度超標(biāo)（Flatness Overlimit），光學(xué)輪廓儀鎖定機械硬盤熱加工工藝異常

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白光干涉儀（White Light Interferomet...

摘要超薄薄膜（Ultra?thin Film）是半導(dǎo)體晶圓（Wafer）、微機電系統(tǒng)（MEMS）器件、鈣鈦礦光電器件的核心功能性薄膜材料。其磁控濺射（Magnet...

白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）全域成像技術(shù)對超薄薄膜（Ultra-thin Film）批量制備工藝異常的識別與分析

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