引言

超臨界CO?設(shè)備作為能源、化工領(lǐng)域的核心裝備，其密封性能直接決定設(shè)備運(yùn)行安全性與穩(wěn)定性。密封端面的平面度是影響密封效果的關(guān)鍵指標(biāo)，超臨界工況下的高溫、高壓及介質(zhì)腐蝕性，易導(dǎo)致密封端面出現(xiàn)平面度偏差，引發(fā)泄漏隱患。傳統(tǒng)測量技術(shù)精度有限，難以滿足密封端面精密檢測需求，白光干涉測量憑借非接觸、高精度的優(yōu)勢，成為超臨界CO?設(shè)備密封平面度檢測的優(yōu)選技術(shù)，具有重要工程應(yīng)用價值。

白光干涉測量技術(shù)原理

本次檢測采用的白光干涉測量技術(shù)基于邁克爾遜干涉原理，以寬光譜白光為測量光源。光束經(jīng)分光鏡分為測量光與參考光，測量光投射至超臨界CO?設(shè)備密封端面，反射光與參考光匯聚形成干涉條紋。通過采集干涉信號，可重構(gòu)密封端面三維形貌，精準(zhǔn)捕捉微觀平面度缺陷，垂直分辨率達(dá)亞納米級，且非接觸測量方式可避免損傷精密密封端面，適配密封件檢測需求。

測量實(shí)驗(yàn)與應(yīng)用實(shí)踐

實(shí)驗(yàn)選取超臨界CO?設(shè)備常用硬質(zhì)合金密封端面為檢測對象，嚴(yán)格遵循相關(guān)行業(yè)檢測標(biāo)準(zhǔn)開展實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)前對密封端面進(jìn)行清潔處理，去除介質(zhì)殘留與氧化層，調(diào)節(jié)測量系統(tǒng)參數(shù)確保檢測精度。測量結(jié)果顯示，該技術(shù)測量誤差控制在3nm以內(nèi)，可清晰識別密封端面微小平面度偏差，為密封件質(zhì)量管控、故障排查提供精準(zhǔn)量化數(shù)據(jù)，有效適配超臨界工況的嚴(yán)苛檢測要求。

新啟航 專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測量方案

多功能面型干涉儀——大視野平面度/納米精密測量設(shè)備

單臺設(shè)備搞定全維度精密測量，一站式覆蓋微納級平面度、深孔臺階、陡峭錐面角度及3D輪廓檢測，高效適配各種硬密封零部件測量需求。

四大核心技術(shù)革新，突破行業(yè)測量瓶頸

一鍵自動掃描：徹底破解傳統(tǒng)光學(xué)測量在高精度工況下“深度受限、視野偏小”的行業(yè)痛點(diǎn)，全面兼容平面度、臺階高度、多面平行度、錐孔等多維度精密測量需求，適配噴油嘴核心部位檢測。

（實(shí)測噴油器密封端面 平面度變形 0.35um）

多臺階面平行度測量能力，市面上非常多的面型干涉儀，局限于單一平面的平面度測量，無法實(shí)現(xiàn)多臺階的平面一體化分析。我們解決了70mm臺階測量能力，重復(fù)精度滿足5nm再現(xiàn)性。

自動化批量測量模式：單幅視野可達(dá)23×18mm，支持最大200mm視野全自動跑點(diǎn)測量，大幅提升批量檢測效率；針對更大視野、更高精度的定制化需求，可提供專屬非標(biāo)解決方案，靈活適配不同生產(chǎn)場景。

深錐孔角度精準(zhǔn)測量：打破傳統(tǒng)面型測量儀功能單一的局限，在保障微納級平面度測量精度的基礎(chǔ)上，同步實(shí)現(xiàn)陡峭錐面、深錐孔角度的精準(zhǔn)檢測，適用場景更廣泛，檢測能力更全面。

上下平面平行度專屬檢測：采用獨(dú)特光路設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)非/透明產(chǎn)品的厚度與上下平面平行度同步測量，無需額外設(shè)備，簡化檢測流程，提升檢測效率。

新啟航半導(dǎo)體——專業(yè)綜合光學(xué)3D測量解決方案提供商，以核心技術(shù)賦能精密制造，為噴油嘴等零部件檢測提供高效、精準(zhǔn)、便捷的全流程服務(wù)！