白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）借助短相干干涉原理，在小視場(chǎng)條件下實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)垂直測(cè)量精度已較為成熟，可穩(wěn)定輸出 Ra、Sa、PV 等三維形貌參數(shù)。但光學(xué)系統(tǒng)固有約束造成行業(yè)核心技術(shù)矛盾：大視場(chǎng)（Large Field?of?View）與橫向高分辨率二者難以同時(shí)兼顧。
若選用大視場(chǎng)物鏡，成像范圍得到拓展，但單像素對(duì)應(yīng)的物理尺寸增大，橫向分辨率下降，微小微觀缺陷、紋理細(xì)節(jié)容易被平滑丟失；若更換高分辨率物鏡，橫向分辨能力提升，又會(huì)壓縮單幀視場(chǎng)，必須依靠圖像拼接（Image Stitching）實(shí)現(xiàn)大面積檢測(cè)。圖像拼接依賴(lài)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)性能，極易引入機(jī)械誤差（Mechanical Error），產(chǎn)生錯(cuò)位、畸變偽像，降低測(cè)量重復(fù)性（Repeatability），同時(shí)難以滿(mǎn)足 ISO?4287、ISO?25178 的取樣評(píng)定規(guī)范。
傳統(tǒng)方案往往只能二選一：要么小視場(chǎng)保證細(xì)節(jié)分辨，要么大視場(chǎng)犧牲細(xì)節(jié)保真。該難點(diǎn)直接影響半導(dǎo)體、精密光學(xué)、高頻 PCB 等領(lǐng)域檢測(cè)效果：大視場(chǎng)
WLI 1000 系列參數(shù)取自設(shè)備官方白皮書(shū)及公開(kāi)招標(biāo)技術(shù)資料；ZYGO 各機(jī)型參數(shù)來(lái)源于原廠(chǎng)技術(shù)手冊(cè)、官方產(chǎn)品公示及政府采購(gòu)公開(kāi)文件，全部技術(shù)數(shù)據(jù)均可公開(kāi)溯源。
德國(guó) WLI 大視場(chǎng)技術(shù)核心優(yōu)勢(shì)
WLI 大視場(chǎng) 3D 白光干涉儀有效彌補(bǔ)傳統(tǒng)干涉儀視場(chǎng)范圍有限、缺少原生低倍物鏡的行業(yè)短板，兼顧大視野觀測(cè)能力與納米級(jí)測(cè)量精度。設(shè)備可一體化完成工件三維形貌表征、幾何尺寸檢測(cè)、微觀缺陷識(shí)別分析，適配半導(dǎo)體、精密光學(xué)、超精密加工行業(yè)的質(zhì)量管控與科研測(cè)量需求。
大視場(chǎng)與高精度一體化測(cè)量能力
設(shè)備配置專(zhuān)屬 0.6× 大視場(chǎng)物鏡，突破行業(yè)傳統(tǒng)設(shè)備 1× 倍率起步的限制，原廠(chǎng)標(biāo)定最大成像視場(chǎng)可達(dá) 15.5mm。依托一體化電動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)架構(gòu)，實(shí)現(xiàn)大視場(chǎng)宏觀觀測(cè)與納米級(jí)微觀測(cè)量的無(wú)縫切換，無(wú)需拆裝鏡頭或者更換設(shè)備，大幅提升批量樣品檢測(cè)效率，保障多組測(cè)試數(shù)據(jù)的一致性。
設(shè)備可穩(wěn)定完成 14mm 端面平面度高精度檢測(cè)，具備 0.006nm 級(jí)超高粗糙度檢測(cè)性能，能夠精準(zhǔn)解析 Ra、Rz 等關(guān)鍵表面粗糙度指標(biāo)，滿(mǎn)足超精密器件嚴(yán)苛的納米量級(jí)測(cè)量要求。
工業(yè)場(chǎng)景核心應(yīng)用價(jià)值
光學(xué)鏡頭若 PV/RMS 面形參數(shù)不達(dá)標(biāo)，會(huì)造成光路發(fā)生偏移，直接導(dǎo)致焦距、成像視場(chǎng)、分辨率等核心光學(xué)參數(shù)失效，造成鏡頭整體性能報(bào)廢。
在半導(dǎo)體 CMP 工藝環(huán)節(jié)，研磨碟盤(pán)金剛石顆粒共面度、金剛石出露高度的一致性，會(huì)直接影響拋光工藝效果，決定晶圓成品良率以及耗材的實(shí)際使用壽命。
新啟航半導(dǎo)體｜專(zhuān)業(yè)白光干涉 3D 輪廓測(cè)量方案。亞納米精度保障，支持自動(dòng)化定制；高端系列對(duì)標(biāo)國(guó)際一線(xiàn)品牌，大視野設(shè)計(jì)，輕松應(yīng)對(duì)高低反射、復(fù)雜材料測(cè)量場(chǎng)景。
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