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3D白光干涉儀替代激光共聚焦在半導(dǎo)體超精密形貌測(cè)量的應(yīng)用（3...

半導(dǎo)體與精密制造領(lǐng)域中，工件直線度、微觀形貌精準(zhǔn)測(cè)量是品質(zhì)管控核心環(huán)節(jié)。激光共聚焦顯微鏡（LCM）拼接檢測(cè)普遍存在波紋抖動(dòng)、形貌錯(cuò)位、數(shù)據(jù)失真等問題，無法滿足IS...

3D白光干涉儀替代激光共聚焦在半導(dǎo)體超精密形貌測(cè)量的應(yīng)用（3D White Light Interferometer Replace LCM for Semiconductor Ultra-Precision Morphology Measurement）

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微透鏡陣列（Microlens Array）平整度（Flat...

微透鏡陣列（Microlens Array, MLA）是光電成像、光場(chǎng)傳感、精密光刻領(lǐng)域核心微納光學(xué)元件，其基底平整度（Flatness）與單元高度一致性（Hei...

微透鏡陣列（Microlens Array）平整度（Flatness）與高度一致性（Height Consistency），采用白光干涉儀進(jìn)行全域測(cè)量

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基于光學(xué)輪廓測(cè)量的 LNG 深冷蝶閥平面度管控技術(shù)

LNG深冷蝶閥（LNG cryogenic butterfly valve）是液化天然氣儲(chǔ)運(yùn)系統(tǒng)的核心密封設(shè)備，長期處于-162℃超低溫工況服役。低溫環(huán)境易引發(fā)閥...

基于光學(xué)輪廓測(cè)量的 LNG 深冷蝶閥平面度管控技術(shù)

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LNG 深冷硬密封蝶閥平面度形變機(jī)理與光學(xué)輪廓測(cè)量表征

LNG（Liquefied Natural Gas，液化天然氣）深冷硬密封蝶閥是低溫儲(chǔ)運(yùn)管路的核心流體控制設(shè)備，長期在-163℃超低溫工況運(yùn)行，其密封面Flatn...

LNG 深冷硬密封蝶閥平面度形變機(jī)理與光學(xué)輪廓測(cè)量表征

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